特气、GC特气柜和特气系统常识性问题大汇总

气体应用系统工程行业虽然是一个小众行业，但它在现代工业中也是不可或缺的一部分，其工程覆盖半导体、集成电路、光纤、太阳能电池、生物医药、食品安全、实验科研等多个高新技术领域。其中特气系统是一个非常重要的组成部分，因为篇幅有限，今天小编就先带大家了解一下特气、特气柜和特气系统吧！

特气系统

1.什么是特气？

特气，又名特种气体，是一种基础化工原料，大多是易燃易爆、有毒、有腐蚀性、纯度特别高（超过99.999%）的气体，用来满足特定需求如芯片制程等。至于如何界定属不属于特气范畴，对于我们行业内来说，主要看的是纯度。

2.特气的分类：

特种气体(Specialtygases)门类繁多，通常可区分为电子气体，标准气，环保气，医用气，焊接气，杀菌气等。

3.关于特气的纯度，5N/6N是什么意思？

5N：99.999% ，气体纯度达到5个nine；

6N：99.9999% ，气体纯度达到6个nine。

4.特气的使用危险性大不大？

广泛上来说危险性很大，因为特种气体大多是危险性气体，如高纯氯气CL2拥有剧毒性，人体吸入过量高纯氯气会引起呼吸道损伤，严重时会引起急性肺水肿，抢救不当可能会造成窒息死亡。但是只要你的技术过硬，经验足够，按照规定的操作规范进行安全操作一般问题不大，这也是为什么特气系统工程的安装公司需要资质的原因。

5.什么是GC特气柜？

GC特气柜是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险特种气体供应而设计的供应系统设备，主要用于特种气体的高纯度安全稳定输送。

特气柜

6.特气柜的种类

特气柜按类别分全自动、半自动和手动操作。

其中全自动GC特气柜按功能设计可分为 单钢瓶(1process)/ 双钢瓶( 2 Process ) / 三钢瓶(2 Process + 1 N2) 气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种：分别为单钢瓶、双钢瓶、三钢瓶。

（1） 单钢的设计通常使用于研究机构或实验室等。工艺制程尚未有量产，气体使用量小，现场可随时协调停机进行钢瓶之更换，其优点节省空间、成本低、但需透过日常之管理与协调以免中断工艺制程造成损失。

（2） 双钢与三钢常用于量产工厂，工艺制程不允许停机情况，当一支钢瓶使用完后，另一支备用钢瓶（stand by）会自动转为供气，此两种形式最大的差别是在purge管路的纯化氮气是以钢瓶或厂务端供应，当purge用的PN2统一由厂务端来供应时，所有特殊气体供应系统不管是否相容，全部连接到同一个供应源，会有较高的风险值；万一中央供应系统的PN2中断，警报系统又损坏，恰巧两种不相容的气体同时使用purge，此时极有可能发生爆炸的事件发生，相同性质可使用同一瓶钢瓶来purge增加的成本及空间非常有限，是一种非常好的应变方式。

（3） 三钢气柜成本不会差很多安全性会是最好的，只要空间允许应最优先选择。

7.全自动特气柜的功能作用

全自动特气柜（Gas Cabinet ）基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定报警信号被触发时）。采用PLC控制，触控屏为人机界面，通过设备安装的压力传感器、气动阀、过流量计等装置，实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能和高纯阀件的合理选择和布局，既满足了半导体工艺生产过程中对特殊气体连续供给和高纯度的要求，同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。

8.特气柜与普通气瓶柜的区别？

因特种气体的特殊性，承载特种气体的气瓶柜体须为防爆柜体，同时为保证半导体制程工艺中特种气体的稳定供气和安全，应具备多种功能，如柜内气体泄漏侦测报警、PLC面板控制、全自动吹扫等，提高使用安全系数，有效的保护生产安全和人员的生命安全。其次，半导体行业配置电子特气柜需要拥有SEMI S2认证。

9.特气柜的SEMI S2认证重要吗？

SEMI S2的对象是针对半导体制程设备的，是关于环境、健康、安全方面的标准，也即为EHS标准，因为半导体行业涉及到很多特种气体、化学品及电气、游离及非游离的辐射，如果处理不好，下游用户在使用的时候就很容易导致事故甚至灾难，因此对设备厂商的设备产品如电子特气柜，拥有SEMI S2认证就显得极端重要。

SEMI S2认证

10.特气系统是什么？

特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件都总称则称为特气系统，是用于实现特气安全使用的气体系统工程。

11.特气系统的组成

特气系统由供气端（CF4是气体钢瓶供气）、GC特气柜/GR特气架、气体阀门分配箱VMB/VMP、耐腐蚀的316L EP不锈钢管道和气体监测报警系统等组成。

特气系统

12.特气系统的应用领域？

特气系统广泛电子工业领域，因为电子特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。

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